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100nm超純水液體粒子計數(shù)器

100nm超純水液體粒子計數(shù)器

什么是電子級超純水?

集成電路的生產(chǎn),幾乎每道工序都需要超純水進行清洗,工件與水直接接觸,而一方面芯片在加工過程中的微量玷污得到清洗,而另一方面純水中的微量雜質(zhì)又可能使芯片再污染,無疑對產(chǎn)品有著極大的影響。隨著集成電路程度的進一步提高,對水中污染物要求亦將更為嚴格,從六十年代末期,美國五家公司提出的集成電路用純水的水質(zhì)指標以來,集成電路每前進一代,雜質(zhì)都要減少1/2-1/10。美國材料實驗學(xué)會(ASTM)1983、1990年頒發(fā)的電子級水質(zhì)標準,已不能適應(yīng)超大規(guī)模集成電路迅速發(fā)展的需要。目前ASTM提出了新的、更為嚴格的水質(zhì)指標。


PMT-2  100nm超純水液體粒子計數(shù)器,采用英國普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,雙精準流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng),可以對清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測和分析,目前是英國普洛帝分析測試集團向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測領(lǐng)域的重要產(chǎn)品。 

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PMT-2  100nm超純水液體粒子計數(shù)器產(chǎn)品優(yōu)勢:

應(yīng)用:創(chuàng)新性油水雙系型、多用途、多模塊條件;

技術(shù):第八代雙激光窄光檢測技術(shù)應(yīng)用;

軟件:分析測試和校準計量相分離消除干擾;

輸出:IPAD數(shù)據(jù)采集技術(shù)使用;

在線優(yōu)勢:清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線顆粒監(jiān)測和分析,都是PMT-2微納米監(jiān)測儀的經(jīng)典應(yīng)用場所,并為生產(chǎn)線上的重要組成部分。在線、實時、連續(xù)取樣、報警提示,能夠即時掌握顆粒污染診斷和趨勢。

離線優(yōu)勢:移動測量和固定測量顆粒大小及多少雙模式,解決連續(xù)跟蹤監(jiān)測的生產(chǎn)過程難題,無論您是即時測量還是清潔跟蹤監(jiān)測,都會為您提供完善的測試方案,讓您的測試更加快捷。

PMT-2  100nm超純水液體粒子計數(shù)器應(yīng)用范圍:

可以對清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片、手機零部件、純水機、納米過濾、微米過濾等領(lǐng)域進行固體顆粒污染度檢測,及對有機液體、聚合物溶液進行不溶性微粒的檢測。

PMT-2  100nm超純水液體粒子計數(shù)器技術(shù)參數(shù):

訂制要求:各類液體檢測要求;

傳感器:第八代雙激光窄光檢測器;

測試軟件:V8.3分析測試軟件集成版&PC版;

測試標定:JJG1061或乳膠球或ISO21501-2;

操作方式:彩色液晶觸摸屏操作&無線鍵鼠組合;

檢測范圍:0.1-0.5um、0.1-1.0um、0.05-0.2um

特殊檢測:自定義1~100μm或者4~70μmc)微粒,0.1μm或者0.1μmc)任意檢測;

取樣方式:精準計量泵;

進樣精度:<±1%

精確度:<±5%典型值;

重合精度:10000/mL5%重合誤差);

模擬輸出:4mA20mA接口;并帶超標報警功能(可定制);     

報告方法:顆粒數(shù)/ml及污染度等級;

輸入電壓:100V265V,50Hz60Hz;

售后服務(wù):普洛帝服務(wù)中心/中特計量檢測研究院。

 

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